透過波面計測装置及び透過波面計測方法

開放特許情報番号
L2016001972
開放特許情報登録日
2016/12/22
最新更新日
2016/12/22

基本情報

出願番号 特願2014-169226
出願日 2014/8/22
出願人 国立大学法人宇都宮大学
公開番号 特開2016-045070
公開日 2016/4/4
発明の名称 透過波面計測装置及び透過波面計測方法
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 透過波面計測装置及び透過波面計測方法
目的 屈折率分布の変化が基板の内部歪に起因するのか、基板の表面の凹凸に起因するのかを区別できるようにする。
効果 屈折率分布の変化が、基板の内部歪によって生じているのか、基板の表面の凹凸により生じているのかを区別することができる。
技術概要
光源2、被検査物の背面側の凹面鏡3、収束光を平行光に変換するレンズ4、回折光を形成する回折格子5、干渉縞を撮像する撮像部6、及び干渉縞の画像データに基づいて演算を行う演算処理部7を備え、レンズ4は、被検査物の像を撮像部6上に共役結像させ、トールボット像が形成される位置に撮像部6を置き、特定方向に振動する偏光を形成する第1偏光形成手段11と、特定方向に直交して振動する偏光を形成する第2偏光形成手段12とを備え、各偏光形成手段により形成された偏光を交互に撮像部6に入射し、フーリエ変換法で空間周波数スペクトルを演算し、そのデータにより被検査物の屈折率と厚みとの積算値の分布を算出し、各入射手段により入射された偏光を撮像した撮像データに基づいて、両者の光路長の差を算出する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 宇都宮大学

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2017 INPIT