検出装置の製造方法

開放特許情報番号
L2016001871
開放特許情報登録日
2016/12/9
最新更新日
2016/12/9

基本情報

出願番号 特願2012-062597
出願日 2012/3/19
出願人 学校法人東京電機大学
公開番号 特開2013-195233
公開日 2013/9/30
登録番号 特許第5897362号
特許権者 学校法人東京電機大学
発明の名称 検出装置の製造方法
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 検出装置及び検出装置の製造方法
目的 薄膜方式の検出装置において、大型になることを抑制し、かつ検出感度を高くする。
効果 本発明によれば、大型になることを抑制でき、かつ検出感度が高い検出装置を提供することができる。
技術概要
第1検出膜120は基板110上に形成されている。第2検出膜130は、第1検出膜120から離間しており、かつ第1検出膜120と対向して配置されている。第1検出膜120と第2検出膜130の間は中空になっている。第1支持部材140は、第2検出膜130を第1検出膜120から離間した状態で支持する。2つの導電部材150は、第1検出膜120及び第2検出膜130を並列に接続している。2つの導電部材150は、互いに離間している。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 東京電機大学

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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