強誘電体の分極ドメイン可視化観察方法及びその装置

開放特許情報番号
L2016001799
開放特許情報登録日
2016/11/29
最新更新日
2018/5/28

基本情報

出願番号 特願2016-167750
出願日 2016/8/30
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2018-036088
公開日 2018/3/8
発明の名称 強誘電体の分極ドメイン可視化観察方法及びその装置
技術分野 情報・通信、電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 強誘電体の分極ドメインを可視化観察する方法及びその装置
目的 簡易な観察方法でありながら、高速且つ高い分解能をもって観察できる強誘電体の分極ドメインの可視化観察方法及びその装置の提供。
効果 真空環境を準備せずとも簡易に観察でき、しかも、強誘電体の分極ドメインの分極反転の状態を判別できる程度に高分解能且つ高速に観察することができる。
分極ドメインの向きと電場方向とを垂直とならないようにオフセットさせ得るので常に観察を与えることができる。
幅広い強誘電体材料について可視化観察が可能になる。
通常、10↑(-4)オーダーの光学的変化を短時間で可視化できる。
技術概要
強誘電体の分極ドメインを可視化観察する方法であって、
強誘電体薄膜に前記分極ドメインを反転させない大きさの正負の電場を周期Tで交互に形成させるとともに、これと同期させて前記強誘電体薄膜に照射した単色光の透過光又は反射光を二次元光検出器によって撮像し、正電場及び負電場のそれぞれで撮像された1組の画像の差イメージを得る可視化観察方法において、前記差イメージの複数からの積算イメージを得てコントラストを与えるとともに、前記周期Tを短時間側にシフトさせて前記差イメージのノイズ除去を図ることを特徴とする強誘電体の分極ドメイン可視化観察方法。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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