マイクロメートルスケールの移動機構

開放特許情報番号
L2016001795
開放特許情報登録日
2016/11/29
最新更新日
2018/4/30

基本情報

出願番号 特願2016-160541
出願日 2016/8/18
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2018-028478
公開日 2018/2/22
発明の名称 マイクロメートルスケールの移動機構
技術分野 情報・通信、電気・電子、機械・加工
機能 機械・部品の製造、制御・ソフトウェア
適用製品 マイクロメートルスケールの移動機構
目的 走査用のチューブスキャナに、粗動機構を行うための積層圧電体の機能を兼備させることによって、粗動機構と走査機構を併せたユニットの小型化を実現し、搭載性を高めて様々な機器への適用を可能とするとともに、剛性の向上、共振周波数の上昇を実現し、耐振動性能を向上を図ること。
効果 SPMの粗動機構に適用した場合、Z軸方向駆動用圧電素子により、移動距離を広い範囲で設定できる。
粉塵発生量を激減することができ、半導体デバイス工場内のインラインでの製品検査の精度を向上することができる。
小型化に伴う高剛性化が可能となり、移動機構を直径10mm程度の円筒形内に収納することができ、SPMを導入する場合にも適用可能である。
従来型のネジ送り式と比較して、小型化、軽量化が可能となるばかりでなく、装置の共振周波数を高めることができ、位置制御精度を飛躍的に高めることができる。
技術概要
チューブスキャナを用いて、インチワーム機構により、マイクロメートルスケールで移動対象の移動を行う移動機構において、
前記チューブスキャナの左右両端を左右の固定機構によりそれぞれ支持し、一方の固定機構を貫通した前記チューブスキャナの端面に前記移動対象を装着し、
前記チューブスキャナおよび前記左右の固定機構の作動を組み合わせることによりインチワームを行う粗動機構によるZ軸方向の移動を可能にする制御装置を設け、
前記制御装置は、前記移動対象の所望の移動が終了したことを検知して、前記チューブスキャナの作動をZ軸に直交するXY平面内での走査モードあるいはZ方向への力・距離曲取得線モードに切り換えるようにしたことを特徴とする移動機構。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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