物理量検出センサモジュールおよび物理量検出システム

開放特許情報番号
L2016001781
開放特許情報登録日
2016/11/23
最新更新日
2016/11/23

基本情報

出願番号 特願2014-018194
出願日 2014/2/3
出願人 国立大学法人静岡大学
公開番号 特開2015-145808
公開日 2015/8/13
発明の名称 物理量検出センサモジュールおよび物理量検出システム
技術分野 電気・電子、情報・通信
機能 制御・ソフトウェア
適用製品 物理量検出センサモジュールおよび物理量検出システム
目的 物理量を検出するセンサとしての感知幅を広くすることによって用途を拡大することができる物理量検出センサモジュールおよび物理量検出システムを提供する。
効果 物理量検出センサモジュールは、表面弾性波変換手段に対向配置された表面弾性波反射手段に対してインピーダンス変化型センサと並列コンデンサとが互いに並行に接続されている。これにより、本発明者らの実験によれば、物理量検出センサモジュールにおける反射係数S11(dB)の二次曲線的変化が並列コンデンサの静電容量に応じて変化することを知見した。
物理量検出センサモジュールは、従来のセンサモジュールに比べてセンサとしての感知幅やダイナミックレンジを広くすることができ、センサとしての用途を拡大することができる。
技術概要
物理量検出システム100は、センサモジュール200とホスト装置300とを備えている。センサモジュール200は、表面弾性波を発生させる圧電基板201上に表面弾性波変換IDT210と表面弾性波反射IDT220とを備えている。表面弾性波変換IDT210は、高周波電気信号と表面弾性波とを相互に変換する。表面弾性波反射IDT220は、湿度センサ240に対して並列コンデンサ250が並列接続されており、表面弾性波を湿度センサ240のインピーダンスに応じて反射する。並列コンデンサ250は、表面弾性波反射IDT220に湿度センサ240のみを接続した場合に表面弾性波反射IDT220から反射される表面弾性波の振幅値が最小となる静電容量に設定されている。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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