静電アクチュエータ及び電位差検出装置

開放特許情報番号
L2016001773
開放特許情報登録日
2016/11/23
最新更新日
2016/11/23

基本情報

出願番号 特願2014-088379
出願日 2014/4/22
出願人 国立大学法人静岡大学
公開番号 特開2015-208160
公開日 2015/11/19
発明の名称 静電アクチュエータ及び電位差検出装置
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 静電アクチュエータ及び電位差検出装置
目的 簡易な構成で変位の線形化を実現できる静電アクチュエータ及びそれを用いた電位差検出装置を提供する。
効果 本発明によれば、簡易な構成で且つ変位を線形化することができる。
技術概要
第1の方向に沿って延在する本体部と、当該本体部における前記第1の方向に直交する第2の方向の両端部から当該第2の方向に沿って延伸する可動櫛歯部と、を有する可動電極と、
前記可動電極を前記第2の方向において挟む位置に対向して配置される固定電極であって、前記第2の方向に延伸すると共に前記可動櫛歯部を前記第1の方向で挟む位置に対向して設けられる少なくとも一対の固定櫛歯部をそれぞれ有する一対の該固定電極と、
前記可動電極を前記第2の方向に移動可能に支持する支持部材と、
前記固定電極及び前記可動電極に接続される電圧印加部と、を備え、
前記可動櫛歯部のうち前記本体部の一方の端部側に設けられた前記可動櫛歯部、又は、一対の前記固定電極のうち一方の前記固定電極の前記固定櫛歯部、又は、前記可動櫛歯部のうち前記本体部の一方の端部側に設けられた前記可動櫛歯部と当該可動櫛歯部とは対向しない前記固定電極の前記固定櫛歯部、が永久電荷化されている、静電アクチュエータ。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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