光源生成薄膜、微小光源励起装置、光学顕微鏡および光源生成薄膜の製造方法

開放特許情報番号
L2016001770
開放特許情報登録日
2016/11/23
最新更新日
2016/11/23

基本情報

出願番号 特願2014-178249
出願日 2014/9/2
出願人 国立大学法人静岡大学
公開番号 特開2016-050925
公開日 2016/4/11
発明の名称 光源生成薄膜、微小光源励起装置、光学顕微鏡および光源生成薄膜の製造方法
技術分野 情報・通信
機能 材料・素材の製造、機械・部品の製造
適用製品 光源生成薄膜およびその製造方法、微小光源励起装置および光学顕微鏡
目的 電子ビームによる試料への損傷を抑制するとともに、観察像のS/N比が向上し、さらに空間分解能の低下が抑制された光源生成薄膜、微小光源励起装置、光学顕微鏡、および光源生成薄膜の製造方法を提供すること。
効果 電子ビームによる試料への損傷を抑制するとともに、観察像のS/N比が向上し、さらに空間分解能の低下が抑制された光源生成薄膜、微小光源励起装置、光学顕微鏡、および光源生成薄膜の製造方法を提供することが可能になる、という効果を奏する。
技術概要
基板と、
前記基板に形成された貫通孔と、
前記基板の第1の主面上に前記貫通孔を覆い、かつ可視光の波長未満の膜厚で設けられるとともに、前記基板の前記第1の主面とは反対側の第2の主面側から前記貫通孔を通って照射される電子ビームにより可視光の波長未満の大きさの微小光源が励起される発光薄膜と、
前記発光薄膜上に形成されるとともに、前記微小光源からの光を透過しかつ前記電子ビームを遮蔽する金属薄膜と、
を備える光源生成薄膜。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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