電子顕微鏡およびそれを用いた試料の観察方法

開放特許情報番号
L2016001661
開放特許情報登録日
2016/11/9
最新更新日
2016/11/9

基本情報

出願番号 特願2015-038149
出願日 2015/2/27
出願人 公立大学法人大阪府立大学
公開番号 特開2016-162532
公開日 2016/9/5
発明の名称 電子顕微鏡およびそれを用いた試料の観察方法
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 電子顕微鏡およびそれを用いた試料の観察方法
目的 透過型の汎用電子顕微鏡を用いて試料の結晶構造だけでなく磁気構造も観察する。
効果 磁歪の外部磁場依存性を連続的に観察することができ、装置の時間分解能の範囲内で磁場応答特性を連続的に観察することができる。なお、ここでは磁歪を例に述べたが、磁性材料の他の磁気構造についても、外部磁場依存性または磁気構造変化の磁場応答特性を装置の時間分解能の範囲内で連続的に観察することができる。
技術概要
電子線を発する光源と、前記光源から発せられた電子線を試料に照射するための照射レンズ系と、励磁電流に応じて磁場を生じさせ、前記試料を通過した電子線を、生じた磁場を用いて結像するための対物レンズ系とを備え、
前記対物レンズ系は、第1および第2の対物レンズを含み、前記第1の対物レンズは、前記第1の対物レンズの励磁電流によって生じた磁場を前記試料に印加可能に構成され、前記第2の対物レンズは、前記第2の対物レンズの励磁電流によって生じた磁場が前記試料に印加されないように構成され、前記電子線の進行方向に沿って前記第1および第2の対物レンズよりも下流側に設けられた第1の絞りと、前記第1の絞りを通過した電子線を観察面に結像するための結像レンズ系と、前記対物レンズ系および前記結像レンズ系に含まれる各レンズの励磁電流を制御する制御部とをさらに備え、
前記制御部は、前記試料を通過した電子線による前記光源の像が前記第1の絞りの位置に結像するように、前記第1および第2の対物レンズの励磁電流を制御する、電子顕微鏡。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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