出願番号 |
特願2016-025819 |
出願日 |
2016/2/15 |
出願人 |
学校法人早稲田大学 |
公開番号 |
特開2016-157932 |
公開日 |
2016/9/1 |
登録番号 |
特許第6712735号 |
特許権者 |
学校法人早稲田大学 |
発明の名称 |
電力素子 |
技術分野 |
電気・電子 |
機能 |
材料・素材の製造 |
適用製品 |
電力素子 |
目的 |
高耐圧、低損失で安定に動作し、絶縁耐圧をよりいっそう向上させることができる電力素子を提供する。 |
効果 |
ダイヤモンド基板の厚さ方向に水素化層が形成されており、この水素化層は保護膜により被覆されている。保護膜で被覆されることにより水素化層は保護されているので、高耐圧、低損失で安定に動作する電力素子が得られる。水素化層は、ダイヤモンド基板の厚さ方向に存在していることから、本発明の電力素子においては、導電層(二次元正孔層)もダイヤモンド基板の厚さ方向に存在する。これによって、ゲート−ドレイン電極間距離が長くなるため、絶縁耐圧をよりいっそう向上させた電力素子を提供することができる。 |
技術概要
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ダイヤモンド基板と、前記ダイヤモンド基板の厚さ方向に形成された水素化層と、前記水素化層を被覆する保護膜とを備えることを特徴とする電力素子。 |
実施実績 |
【無】 |
許諾実績 |
【無】 |
特許権譲渡 |
【否】
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特許権実施許諾 |
【可】
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