不純物ドープダイヤモンド
- 開放特許情報番号
- L2016001564
- 開放特許情報登録日
- 2016/10/27
- 最新更新日
- 2021/4/20
基本情報
出願番号 | 特願2016-141305 |
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出願日 | 2016/7/19 |
出願人 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
公開番号 | |
公開日 | 2018/1/25 |
登録番号 | |
特許権者 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
発明の名称 | 不純物ドープダイヤモンド |
技術分野 | 無機材料、電気・電子、金属材料 |
機能 | 材料・素材の製造 |
適用製品 | 不純物ドープダイヤモンド |
目的 | 不純物を高濃度で含んでいるにも拘わらず、結晶格子定数とベガード則による理論値とのずれが非常に小さく、電気抵抗値の小さい不純物ドープダイヤモンドを提供する。 |
効果 | 本発明によれば、不純物を高濃度で含んでいるにも拘わらず、電気抵抗値の小さい不純物ドープダイヤモンドを提供することができる。 |
技術概要![]() |
ダイヤモンドに不純物がドープされている、不純物ドープダイヤモンドであって、二次イオン質量分析法で測定した不純物濃度が、5×10↑(20)cm↑(-3)以上、1×10↑(22)cm↑(-3)以下の範囲にあり、
X線構造解析に基づき下記式(1)で算出される結晶格子歪み(Δa/a)は、ベガード則に基づく結晶格子歪みからのずれが、100ppm以内である、不純物ドープダイヤモンド。 結晶格子歪み(Δa/a)=(a↓(doped)−a↓(ref))/a↓(ref)×100(%) (1) a↓(doped):不純物ドープダイヤモンドの格子定数 a↓(ref):ダイヤモンド標準試料の格子定数(3.567Å) |
実施実績 | 【無】 |
許諾実績 | 【無】 |
特許権譲渡 | 【否】 |
特許権実施許諾 | 【可】 |
登録者情報
登録者名称 | |
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その他の情報
関連特許 |
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