目的
ゲーティング手法を用いて試料の直接波と冶具の端面の反射波を区別して直接波のみ利用できるようにする、あるいは、不連続点における冶具による反射波の影響を抑え、または除去し、直接波のみに基づいて逆ＦＦＴを行って得られる周波数領域の波形に基づいて精度よく誘電率を評価すること。
効果
従来適用が困難であったマイクロ波帯(10GHz程度)にゲーティング法を拡張して実測値に近いなだらかな誘電率曲線(特性)を得ることができ測定精度を上げることができた。
また、ミリ波帯においても、従来のゲーティング法の測定精度を上まわることが確認できた。
これにより、ゲーティング法が広い帯域で測定精度よく活用できるようになった。
技術概要
マイクロ波帯電磁波を用いて所定の長さと接続部両端を有する同軸線路または導波管冶具に試料を封入しゲーティング法を利用した反射伝送法により誘電率特性を評価する誘電率測定装置であって、
所定の電磁波を前記同軸線路または導波管冶具に放出する手段と、
該放出された電磁波の反射波・透過波を測定しＳパラメータを取得する手段と、
前記Ｓパラメータに基づいて当該試料の誘電率特性を評価する手段を有し、
前記取得したＳパラメータの時間領域波形から前記ゲーティング法を適用して前記同軸線路または導波管治具の接続部の多重反射を除去した時間領域波形から逆ＦＦＴして得られた周波数領域波形から得られた当該試料の誘電率特性に基づいて当該試料の誘電率特性の初期推定値を設定し、
前記ゲーティング法が適用されたＳパラメータの時間領域波形を前記誘電率特性の初期推定値に対応する時間領域波形により当該ゲートの両側に延伸して得た時間領域波形から逆ＦＦＴして得られた周波数領域波形に基づいて当該試料の誘電率特性を評価することを特徴とする反射伝送法誘電率測定装置。
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