酸化亜鉛微粒子の製造方法、酸化亜鉛微粒子

開放特許情報番号
L2016001353
開放特許情報登録日
2016/8/25
最新更新日
2016/8/25

基本情報

出願番号 特願2014-191465
出願日 2014/9/19
出願人 国立大学法人島根大学
公開番号 特開2016-060678
公開日 2016/4/25
発明の名称 酸化亜鉛微粒子の製造方法、酸化亜鉛微粒子
技術分野 化学・薬品、無機材料
機能 材料・素材の製造
適用製品 酸化亜鉛(ZnO)を主成分とする酸化亜鉛微粒子の製造方法、酸化亜鉛微粒子
目的 安定して安価にp型ZnO微粒子を製造する。
効果 安定して安価にp型ZnO微粒子を製造することができる。
技術概要
チャンバ10の上側には、高周波誘導結合によってプラズマを生成させるプラズマトーチ20が接続されている。プラズマトーチ20の上面には、プラズマトーチ20内部にガスを供給するためのガス供給ノズル21が複数本設けられている。一方、プラズマトーチ20には、粒子供給用ノズル23も設けられている。ここからは亜鉛(Zn)粒子Aが供給される。このZn粒子Aは、高温のプラズマP中に曝される。これにより、窒素ドープされたZnO微粒子BがプラズマP中で生成される。図の構成ではプラズマトーチ20内には電極が存在しないため、電極の消耗の問題は発生しない。また、ZnO微粒子Bへの電極からの不純物の混入も発生しない。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【無】   
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