散乱試料の偏光特性の測定方法

開放特許情報番号
L2016001271
開放特許情報登録日
2016/8/3
最新更新日
2017/12/26

基本情報

出願番号 特願2016-084461
出願日 2016/4/20
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2017-194340
公開日 2017/10/26
発明の名称 散乱試料の偏光特性の測定方法
技術分野 情報・通信
機能 検査・検出
適用製品 散乱試料の偏光特性の測定方法
目的 物体からの散乱光の偏光状態が平均化により消失することなく、かつ当該物体の全ての偏光特性を正確かつ容易に測定することができる方法を提供する。
効果 本発明に係る偏光特性の測定方法によれば、還元実効散乱ミューラー行列を求めることにより、実効散乱ミューラー行列から測定の幾何学的配置による方位角依存性が除去されるので、物体からの散乱光の偏光状態が平均化により消失することなく、当該物体の全ての偏光特性を正確かつ容易に測定することができる。
技術概要
本発明に係る偏光特性の測定方法は、小さな径の平行光を物体4に照射し、物体4表面から射出する散乱光の偏光状態を二次元で測定し、測定された偏光状態に基づき、物体の偏光特性を表す実効散乱ミューラー行列を計算し、実効散乱ミューラー行列から還元実効散乱ミューラー行列を求め、前記還元実効散乱ミューラー行列から、特定の方位角における還元実効散乱ミューラー行列を求め、前記還元実効散乱ミューラー行列をルー・チップマン極分解することにより、偏光解消行列、移相子行列、および二減衰子行列を求め、前記偏光解消行列、前記移相子行列、および前記二減衰子行列から、前記物体の偏光特性計数を求める。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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