| 出願番号 |
特願2016-083528 |
| 出願日 |
2016/4/19 |
| 出願人 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 |
特開2017-194307 |
| 公開日 |
2017/10/26 |
| 登録番号 |
特許第6708327号 |
| 特許権者 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 発明の名称 |
微細粒子の観察方法 |
| 技術分野 |
情報・通信 |
| 機能 |
加熱・冷却 |
| 適用製品 |
微細サイズの粒子の観察方法 |
| 目的 |
微細粒子の分散を維持させたままシリコン基板上に固定しこれを顕微鏡観察する方法を提供する。 |
| 効果 |
分散液の厚さを薄くして冷却中の温度勾配を小さくすることで冷却中の氷の結晶の成長に伴う微細粒子の凝集を防止するとともに微細粒子の厚さ方向の重なりを抑制し、微細粒子の分散を維持させたままシリコン基板上に固定でき、再現性良く安定して分散した微細粒子を顕微鏡観察することができる。 |
技術概要
 |
微細粒子の分散を維持させたままシリコン基板上に固定しこれを顕微鏡観察する方法であって、
前記微細粒子を水に分散させた分散液を対向配置した２枚の前記シリコン基板の間に挟み込み、前記シリコン基板を冷却して前記微細粒子の静電反発を維持させたまま急冷凍結させた後に前記シリコン基板の互いを分離させ、減圧して前記シリコン基板上の前記水を昇華させることを特徴とする微細粒子の観察方法。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
)