誘電率顕微鏡及び有機物試料の観察方法

開放特許情報番号
L2016001178
開放特許情報登録日
2016/6/30
最新更新日
2020/1/27

基本情報

出願番号 特願2018-504531
出願日 2017/3/7
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 WO2017/154936
公開日 2017/9/14
登録番号 特許第6629424号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 誘電率顕微鏡及び有機物試料の観察方法
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 試料を観察する顕微鏡及びこの観察方法
目的 微小な有機物試料の形状を観察できる誘電率顕微鏡及びその観察方法を提供する。
効果 有機物試料を挿入することによる溶液中の誘電率の空間的な変化を、複数の印加側導電性薄膜及び計測側導電性薄膜の組み合わせによる誘電率変化計測対によって計測できるから、該有機物試料の形状を観察できる。
技術概要
溶液中の有機物試料を可視化するための誘電率顕微鏡であって、
前記溶液とともに前記有機物試料を挟み込むように対向配置された第1及び第2の絶縁性薄膜と、
前記第1の絶縁性薄膜の外向面側に規則的且つ互いに離間するように設けられた印加側導電性薄膜P↓1〜P↓n(但し、n>1の整数)と、
前記第2の絶縁性薄膜の外向面側に規則的且つ互いに離間するように設けられた計測側導電性薄膜p↓1〜p↓m(但し、m>1の整数)と、を含み、
前記印加側導電性薄膜P↓1〜P↓nのそれぞれに、互いに異なる周波数の電位変化を有する入力信号S↓(f1)〜S↓(fn)を与え、前記計測側導電性薄膜p↓1〜p↓mのそれぞれについて電位変化を測定しこれを前記周波数に対応させて分離して得られる前記第1及び第2の絶縁性薄膜間の誘電率分布から前記有機物試料を可視化することを特徴とする誘電率顕微鏡。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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