モアレ法による高速変位・ひずみ分布測定方法及び測定装置

開放特許情報番号
L2016001082
開放特許情報登録日
2016/6/9
最新更新日
2017/10/31

基本情報

出願番号 特願2016-028169
出願日 2016/2/17
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2017-146202
公開日 2017/8/24
発明の名称 モアレ法による高速変位・ひずみ分布測定方法及び測定装置
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 モアレ法による高速かつ高精度で構造材料の二次元変位ひずみ分布を測定
目的 迅速かつ正確に構造材料の二次元の変位ひずみ分布を測定する方法、実用上では使用可能な試料格子ピッチの範囲を拡大できる手法。
モアレ法と、そのモアレ法を応用した、迅速かつ正確に構造材料の二次元変位ひずみ分布を実現するための新変形測定方法を提案。
効果 効果1:高速走査モアレ法と高速二次元走査モアレ法で、モアレ画像取得速度が高く、使用可能な試料格子ピッチの範囲が広い。
効果2:二次元走査モアレ法と高速二次元走査モアレ法で、二次元変形測定精度は高い。
効果3:開発したこれらの3つの走査モアレ法で、広視野での変位とひずみ分布を非破壊かつ定量的に測定することができる。
技術概要
縦横の走査点からなり基本走査線間隔T↓0の整数倍の間隔T(整数は1以上の自然数)に走査し得る走査線を有する走査型顕微鏡を備え、
試料台に載置されその表面に一方向にピッチp(pはT↓0に近接しているとする)の規則格子が生成された試料の表面を前記走査型顕微鏡の走査線により走査して前記試料表面のモアレ縞画像を取得し、
当該取得したモアレ縞画像の走査点の輝度情報から前記試料の変位ひずみ量を計算し、
前記計算した試料の変位ひずみ量を表示する、
走査モアレ方法による変位ひずみ分布測定システムであって、
前記走査型顕微鏡の走査点間隔Tを前記ピッチpの2以上の整数倍またはその近傍とし前記規則格子と前記走査点が小さな不一致またはずれが生じるようにしたことを特徴とする高速走査モアレ方法による高速変位ひずみ分布測定システム。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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