光検出器、電気光学装置および光検出器の製造方法

開放特許情報番号
L2016001019
開放特許情報登録日
2016/6/3
最新更新日
2016/6/3

基本情報

出願番号 特願2014-039325
出願日 2014/2/28
出願人 国立研究開発法人情報通信研究機構
公開番号 特開2015-164147
公開日 2015/9/10
発明の名称 光検出器、電気光学装置および光検出器の製造方法
技術分野 電気・電子、情報・通信
機能 材料・素材の製造、検査・検出
適用製品 光検出器、光検出器を含む電気光学装置および光検出器の製造方法
目的 省スペース化が可能であり作製プロセスの容易な光検出器を提供する。
効果 省スペース化、低コスト化が可能であり作製プロセスの容易な光検出器およびその製造方法、さらに当該光検出器を用いた電気光学装置を得ることができる。
技術概要
光検出器10は、光導波路2から染み出した光を検出する光検出器であって、光導波路2に近接して配置された第1電極層3と、第1電極層3上に配置された誘電体層4と、誘電体層4上に配置された第2電極層5とを備える。このようにすれば、光導波路2からのエバネッセント光を第1電極層3、誘電体層4、第2電極層5という積層構造を有する光検出部6で光誘起電流として検出できる。そのため、伝搬光を大きく遮らずとも検出でき、また従来のように光デバイス内にミラーなどの光学部材を配置したり、pn接合を持つ半導体素子を形成するといった構造が不要になるため、光検出器を簡便・低コストに作製することが可能であり、小型化・省スペース化も図ることができる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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