加速度センサーとそれを用いた能動除振装置

開放特許情報番号
L2016000901
開放特許情報登録日
2016/5/23
最新更新日
2016/5/23

基本情報

出願番号 特願2014-060127
出願日 2014/3/24
出願人 国立研究開発法人情報通信研究機構
公開番号 特開2015-184115
公開日 2015/10/22
発明の名称 加速度センサーとそれを用いた能動除振装置
技術分野 情報・通信、輸送
機能 機械・部品の製造
適用製品 加速度センサーとそれを用いた能動除振装置
目的 原子時計用の狭いスペクトル線幅のクロックレーザ光の実現にあたり、外部振動の影響による光共振器の共振波長の変動を抑制するため、それと同じ光共振器を用いて加速度センサーを構成し、負帰還をかけてその影響を打ち消す。
効果 光共振器に於いて従来1Hz以下の地面振動の影響を除振することが困難であった問題が解消する。現在1秒の安定度で10の16乗台の光共振器が実現。
従来は低域にある共振器材料のエージングの効果と振動による共振器長の変化を峻別することが困難であったが、単結晶材料を共振器として利用することでエージングの効果が低減されたため、本発明はこの点を解決する。
本発明は冷凍機の振動に対する除振としても有効である。
技術概要
複数の光共振器を備える複合光共振器と、それぞれの共振周波数の2つの比較から印加された加速度を導出する加速度導出手段と、を備える。複合共振器は、スペーサー材を共通とし、3つ以上の光共振器用にそれぞれの空洞を備える複合光共振器で、空洞は互いに並行し、空洞の1つは中心に設ける。また、上記複合光共振器は、駆動系によって所定の面上を動く様に駆動する。この駆動においては、導出された加速度に応じた電圧または電流を、上記影響に対して負帰還となるようする。また、スペーサー材を所定の単結晶でつくることで、経年変化を除外することができる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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