容量型ガスセンサ及びその製造方法

開放特許情報番号
L2016000871
開放特許情報登録日
2016/5/19
最新更新日
2016/11/30

基本情報

出願番号 特願2016-046713
出願日 2016/3/10
出願人 国立大学法人信州大学
公開番号 特開2016-170172
公開日 2016/9/23
発明の名称 容量型ガスセンサ及びその製造方法
技術分野 情報・通信
機能 材料・素材の製造、検査・検出
適用製品 湿度等の計測に用いられる容量型ガスセンサ及びその製造方法
目的 ガスの検知感度と応答特性に優れ、小型化が可能で、電子部品として容易に搭載可能な容量型ガスセンサ及びその製造方法を提供する。
効果 本発明に係る容量型ガスセンサ及びその製造方法によれば、高感度でかつ応答特性に優れた容量型ガスセンサを提供することができる。
技術概要
基板12上に、第1の電極層14と、第1の電極層14を被覆する感応膜16と、感応膜16の表面に第1の電極層14と対向して設けられた第2の電極層18とを備え、第2の電極層18が、網目状に絡み合ったナノカーボン材からなる容量型ガスセンサであって、感応膜16がポリイミド系の感光性樹脂からなる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

アピール内容 譲渡についての可・不可はその時の状況によります。

登録者情報

登録者名称 株式会社信州TLO

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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