走査型電子顕微鏡観察コントラスト校正用標準試料及び走査型電子顕微鏡を用いた結晶性基板の検査方法

開放特許情報番号
L2016000565
開放特許情報登録日
2016/4/19
最新更新日
2016/4/19

基本情報

出願番号 特願2015-036074
出願日 2015/2/26
出願人 学校法人関西学院
公開番号 特開2015-179082
公開日 2015/10/8
発明の名称 走査型電子顕微鏡観察コントラスト校正用標準試料及び走査型電子顕微鏡を用いた結晶性基板の検査方法
技術分野 情報・通信、電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 走査型電子顕微鏡で得られる映像のコントラストを用いて走査型電子顕微鏡を評価するための標準試料
目的 走査型電子顕微鏡の品質を客観的に評価するための標準試料を提供する。
効果 予めコントラストを高精度の走査型電子顕微鏡等で求めておき、このコントラストと、評価対象の走査型電子顕微鏡で得られるコントラストと、を照らし合わせることで、走査型電子顕微鏡の評価を客観的に行うことができる。また、SiCは耐熱性及び耐酸化性に優れるので使用環境の制約があまりなく、かつ、長期間にわたって使用可能な標準試料が実現できる。
技術概要
標準試料41は、単結晶SiCからなるステップ/テラス構造が形成されており、それぞれのテラスの表面は、第1積層配向又は第2積層配向の何れかである。また、テラスの表面の垂直線に対して、走査型電子顕微鏡から照射される電子線がなす角度を入射電子角度としたときに、この標準試料41は、表面直下の第1積層配向のテラスの映像と、表面直下の第2積層配向のテラスの映像と、の明暗の差であるコントラストが入射電子角度に応じて変化する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 学校法人関西学院

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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