成形金型用Ni−W電鋳液、成形金型の製造方法、成形金型および成形品の製造方法

開放特許情報番号
L2016000480
開放特許情報登録日
2016/4/6
最新更新日
2016/4/7

基本情報

出願番号 特願2011-056385
出願日 2011/3/15
出願人 神奈川県
公開番号 特開2012-193395
公開日 2012/10/11
登録番号 特許第5799393号
特許権者 神奈川県
発明の名称 成形金型用Ni−W電鋳液、成形金型の製造方法、成形金型および成形品の製造方法
技術分野 機械・加工、情報・通信、電気・電子
機能 機械・部品の製造、表面処理
適用製品 携帯プロジェクタ用マイクロレンズ、カメラレンズ用無反射構造体、ガラス製マイクロリアクター、マイクロ流体デバイスチップ等の微細加工を必要とするガラスデバイス、LSPRなどに使われる微細加工を施したアルミ箔やアルミ板
目的 離型性、耐熱性、加工性に優れ、大面積化に対応でき、製造コストが低廉である成形金型用Ni−W電鋳液、成形金型の製造方法、成形金型および成形品の製造方法を提供することを目的とする。
効果 ガラス成形用金型として,耐熱性に優れたSiCが検討されているが,脆性材料であるため割れ易く、Pt−Ir等を用いた離型処理が必要であるという問題がある。また、GC(ガラス状カーボン)は、耐熱性に優れ、離型処理が不要であり、酸素プラズマによってドライエッチングが容易である等の利点を持つ半面、エッチング面が荒れ易く,割れ易いという問題があった。これらに対して, 耐久性の高い離型性、耐熱性、加工性に優れ、大面積化に対応でき、製造コストが低廉であるNi−W成形金型を提供できる。
技術概要
 
従来のガラスマイクロ成形用金型は、耐熱性に優れるセラミック材や炭素材料を半導体技術により加工し、離型性を付与するものが一般的であった。しかし、脆性材料は割れやすく実用に耐えられないと課題がある。そこで、耐熱性、ガラスに対する離型性に優れたNi−Wめっき膜とめっきを用いた微細加工の作製技術である電鋳に着目し、Ni−W製金型に必要な電鋳液、成形金型の製造方法とそれに付随する成形金型および成形品の製造方法を提供すること目指した。その結果、最小パターン幅20μm、高さ6μmのパターンを持つガラス成形用Ni−W製金型を得ることができた。この金型を用いて、硼珪酸ガラスである「ショット社製 D263」にガラス成形を27回行った。成形条件は、真空中の温度は610℃とし、圧力は0.89MPaとし、圧力保持時間は10分とした。その結果、27回目のプレス成形であっても1回目と同一形状および同一寸法のガラスインプリントパターンを形成でき、離型性に優れていることが確認できた。加えて、アルミ合金に対して成形実験を行った。その結果、真空中の温度を400℃〜500℃の範囲内とすることで、アルミ合金材料でも形成できることが確認できた。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】
対価条件(一時金) 【要】 
対価条件(ランニング) 【要】 

登録者情報

登録者名称 神奈川県

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2017 INPIT