液浸インプリント方法

開放特許情報番号
L2016000259
開放特許情報登録日
2016/2/19
最新更新日
2016/10/20

基本情報

出願番号 特願2015-219201
出願日 2015/11/9
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2016-027963
公開日 2016/2/25
登録番号 特許第5999738号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 液浸インプリント方法
技術分野 機械・加工、電気・電子
機能 材料・素材の製造
適用製品 インプリント方法
目的 インプリント工程中の雰囲気を構成する気体が、モールド表面に形成された凹凸構造内の空隙に取り込まれることによる転写精度の低下を防止する。
効果 本発明によれば、熱インプリントにおいて欠陥の防止が困難な基板上に塗布された熱可塑性材料薄膜に対して、成形温度でも気化しない高沸点液体をモールドと成形材料間に挿入し、残留空気を高沸点液体で置換することによって、モールド表面の凹凸パターンを成形材料上に完全転写できるようになる。
技術概要
基板表面上に塗布した成形材料を成形温度に加熱し、前記成形材料を前記モールドに対してプレスして、モールド表面に形成した凹凸構造を転写する工程を備えたインプリント方法において、
前記成形材料を前記モールドに対してプレスを行うプレス工程に先立って、前記モールド表面に形成された凹凸構造内部に、前記成形材料の成形温度より沸点及び発火点が高く、かつ、前記成形材料として使用する熱可塑性材料に対し化学反応を起こさない不活性液体を、前記凹凸構造の内部の空気を排除するように充填する液体充填工程を備え、
前記プレス工程において、前記成形材料が前記凹凸構造の凹部内に流入し、前記不活性液体が押し出され、前記モールドの端部から排出されることを特徴とするインプリント方法。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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