| 出願番号 |
特願2017-546444 |
| 出願日 |
2016/8/25 |
| 出願人 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 |
WO2017/068859 |
| 公開日 |
2017/4/27 |
| 登録番号 |
特許第6472149号 |
| 特許権者 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 発明の名称 |
不揮発性記憶素子 |
| 技術分野 |
電気・電子 |
| 機能 |
材料・素材の製造 |
| 適用製品 |
不揮発性記憶素子 |
| 目的 |
従来のＮＡＮＤフラッシュデバイスの性能を上回る高性能化が期待できる不揮発性記憶素子を提供すること。 |
| 効果 |
金属／多層積層絶縁膜／半導体キャパシタ構造において、外部電気刺激により絶縁膜／絶縁膜界面近傍の単分子層程度の極めて狭い領域の原子移動による界面ダイポールの変調動作に基づき、絶縁膜／半導体界面の電気的特性に影響を与えることなく、大きな電圧変化幅を確保でき、従来のＮＡＮＤフラッシュメモリ等のシリコンデバイスの構造及び構成元素に大幅な変更を加えることなく製造が可能であり、しかもＮＡＮＤフラッシュメモリの性能を上回る高性能化が期待できる不揮発性記憶素子を実現する。 |
技術概要
 |
半導体又は金属上に積層されたキャパシタ構造を備え、
前記キャパシタ構造は、異なる二つの絶縁膜の接合界面に、前記絶縁膜を構成する元素以外の金属元素(Ｍ1)と酸素(Ｏ)とが化学結合された単分子層程度のＯ-Ｍ1-Ｏ層を備え、
外部電気刺激によって前記Ｏ-Ｍ1-Ｏ層近傍に誘起される界面ダイポールの強度又は極性を変化させることで情報を記憶する、不揮発性記憶素子。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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