| 出願番号 |
特願2017-545198 |
| 出願日 |
2016/10/11 |
| 出願人 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 |
WO2017/065135 |
| 公開日 |
2017/4/20 |
| 登録番号 |
特許第6652265号 |
| 特許権者 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 発明の名称 |
有機物試料の観察方法、これに用いられる観察ホルダ及び観察ステージ |
| 技術分野 |
電気・電子、情報・通信 |
| 機能 |
材料・素材の製造 |
| 適用製品 |
走査電子顕微鏡内で有機物試料を観察する観察方法、これに用いられる観察ホルダ及び観察ステージ |
| 目的 |
走査電子顕微鏡内において水溶液中の生物試料を生きたままより高い分解能で観察できしかもその組成分析を与えるような観察方法、これに用いられる観察ホルダ及び観察ステージを提供すること。 |
| 効果 |
走査電子顕微鏡内において水溶液中の生物試料を生きたままより高い分解能で観察できる。 |
技術概要
 |
走査電子顕微鏡内で水溶液中の生物の如き有機物試料を観察する観察方法であって、一対の対向する第１及び第２の絶縁性薄膜の対向面の間に前記水溶液とともに前記有機物試料を介在させ、前記第１の絶縁性薄膜の外向面上に与えられた導電性薄膜にその強度をパルス状に変化させたパルス電子線を走査照射し、前記第２の絶縁性薄膜の外向面上の電位変化に応じた画像を得る方法において、異なるＯＮ／ＯＦＦ周波数の前記パルス電子線に対応した前記画像の差から前記有機物試料の組成分析を与えることを特徴とする有機物試料の観察方法。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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