| 出願番号 |
特願2014-058079 |
| 出願日 |
2014/3/20 |
| 出願人 |
国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 |
| 公開番号 |
特開2015-185233 |
| 公開日 |
2015/10/22 |
| 発明の名称 |
フラーレン及び有機高分子の負イオンビーム生成方法 |
| 技術分野 |
電気・電子 |
| 機能 |
検査・検出、材料・素材の製造 |
| 適用製品 |
高度な２次イオン質量分析技術を必要とする半導体産業、医薬品産業、材料製造産業等で利用可能なフラーレン及び有機高分子の負イオンビーム生成方法 |
| 目的 |
簡単なやり方でフラーレン負イオンの生成量の増大とその安定性を保つことができるフラーレン負イオンの生成方法を提供すること。 |
| 効果 |
多くのフラーレンを解離させずに効率よく負イオン化することができる。カソードロッド型のオーブンロッドか、るつぼ型カソードを用いて安定に継続してフラーレンをスパッターチャンバーへ供給するため長時間安定したビームが生成できる。セシウムを必要としないためセシウムによるイオン源の汚れが生じない。カソードロッド型のオーブンロッドの試料るつぼの温度を制御し、適量の気化した有機高分子に電子を付着して負イオン化することで、有機高分子の負イオンビームの生成を可能とする。 |
技術概要
 |
熱電子を発生するアイオナイザーを含むスパッターチャンバーと、該スパッターチャンバー内で生成されるフラーレンまたは有機高分子の負イオンを、負イオンビームとして外部に取り出すための引出電極と、前記スパッターチャンバー内に着脱可能に取り付けられたカソードロッドを用い、前記カソードロッド内に装填された粉末状のフラーレンまたは有機高分子試料を加熱して昇華させ、昇華させられたフラーレンまたは有機高分子に前記アイオナイザーからの熱電子を付着させて負イオンとし、該負イオンを正電位にある前記引出電極で引き寄せてビーム化する。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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