透過波面計測装置及び透過波面計測方法

開放特許情報番号
L2015001993
開放特許情報登録日
2015/12/15
最新更新日
2015/12/15

基本情報

出願番号 特願2013-174970
出願日 2013/8/26
出願人 国立大学法人宇都宮大学
公開番号 特開2015-042967
公開日 2015/3/5
発明の名称 透過波面計測装置及び透過波面計測方法
技術分野 情報・通信
機能 検査・検出
適用製品 透過波面計測装置及び透過波面計測方法
目的 限られたスペースに設置できる装置でサイズの大きな基板等の屈折率と厚みとの積算値の分布を正確に検査できる透過波面計測装置及び透過波面計測方法を提供する。
効果 透過波面計測装置を限られたスペースに設置することができる。また、サイズの大きな被検査物の透過波面を計測することによって被検査物の屈折率と厚みとの積算値の分布を正確に検査することができる。
技術概要
被検査物に発散光を照射する光源と、
前記被検査物の背面側に配置された凹面鏡と、
前記凹面鏡によって反射された収束光を平行光に変換するレンズと、
前記レンズによって変換された前記平行光を透過させ、回折光を形成する回折格子と、
前記回折光により形成される干渉縞を撮像する撮像手段と、
前記干渉縞の撮像データをフーリエ変換法によって空間周波数スペクトルを演算し、該空間周波数スペクトルのデータに基づいて前記被検査物の屈折率と厚みとの積算値の分布を演算する処理部と、を備え、
前記レンズは、前記凹面鏡を反射して前記被検査物を透過した前記収束光に基づいて前記撮像手段上に前記被検査物の像を共役結像させ、
前記撮像手段は、前記回折光がトールボット像を形成する位置に配置されていることを特徴とする透過波面計測装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 宇都宮大学

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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