銅電気めっき液及び銅電気めっき方法

開放特許情報番号
L2015001981
開放特許情報登録日
2015/12/10
最新更新日
2016/4/19

基本情報

出願番号 特願2000-042158
出願日 2000/2/21
出願人 日鉱金属株式会社
公開番号 特開2001-271196
公開日 2001/10/2
登録番号 特許第4394234号
特許権者 JX金属株式会社
発明の名称 銅電気めっき液及び銅電気めっき方法
技術分野 金属材料
機能 材料・素材の製造
適用製品 銅電気めっき液、銅電気めっき用前処理液及び銅電気めっき方法
目的 カバレッジの悪い銅シード層の溶解を抑制し、ボイドやシーム等の欠陥の発生を防止することができる電気めっき液及び方法の開発。
効果 銅電気めっき液及び前処理液を使用することにより、従来微細なビアあるいはトレンチの孔や底部への銅膜形成が不十分である場合に、めっき液に含まれる硫酸で銅のシード層が簡単に溶解するという現象がなくなり、半導体ウェハー上に形成された微細なビアあるいはトレンチにおけるボイドやシーム等の欠陥を発生させずに銅を埋め込むことが可能となる。
技術概要
 
硫酸銅(銅として)0.1〜100g/L、硫酸0.1〜500g/L、塩素0.1〜500mg/L及び添加剤として有機硫黄化合物1〜500μmol/Lとポリエーテル化合物0.1〜5000μmol/Lを含有し、さらにアゾール又はシランカップリング剤を1〜10000mg/L含有する銅電気めっき液。
実施実績 【有】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 JX金属株式会社

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【有】   
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