酸素原子生成装置及び酸素原子生成方法

開放特許情報番号
L2015001890
開放特許情報登録日
2015/11/20
最新更新日
2017/5/1

基本情報

出願番号 特願2015-159855
出願日 2015/8/13
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2017-036194
公開日 2017/2/16
発明の名称 酸素原子生成装置及び酸素原子生成方法
技術分野 化学・薬品、無機材料、電気・電子
機能 材料・素材の製造
適用製品 酸素原子生成装置及び酸素原子生成方法
目的 高エネルギー効率で酸素原子を生成可能な酸素原子生成装置及び酸素原子生成方法を提供する。
効果 断続的にパルス放電プラズマを発生させることで酸素分子振動エネルギーの減衰を極力防止するとともに、所定の時間放電を停止することで機器等の故障の原因となるスパーク放電を防止でき、無用なガス温度上昇を抑えることが出来る。
本発明によれば、パルス放電プラズマ直後の酸素分子振動エネルギーを酸素原子生成に効率的に利用することが可能となり、効率的な酸素原子生成が可能となる。
技術概要
パルス電源とパルス電源に接続された放電プラズマリアクタとを備え、時間間隔30μs以下において4〜10回のパルス時間幅100 ns以下のパルス放電プラズマを連続的に、かつ、2回目以降の各パルス放電プラズマ毎に、直前に発生した放電プラズマ領域に70%以上含まれるように、パルス放電プラズマを発生させることを特徴とする。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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