金属酸化物前駆体薄膜パターンの製造方法、金属酸化物薄膜パターンの製造方法及び該方法により製造された金属酸化物薄膜パターン並びに電子部品

開放特許情報番号
L2015001702
開放特許情報登録日
2015/10/20
最新更新日
2017/5/1

基本情報

出願番号 特願2015-150675
出願日 2015/7/30
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2017-034026
公開日 2017/2/9
発明の名称 金属酸化物前駆体薄膜パターンの製造方法、金属酸化物薄膜パターンの製造方法及び該方法により製造された金属酸化物薄膜パターン並びに電子部品
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造、材料・素材の製造、加熱・冷却
適用製品 金属酸化物前駆体薄膜パターンの製造方法、金属酸化物薄膜パターンの製造方法及び該方法により製造された金属酸化物薄膜パターン並びに電子部品
目的 印刷製造技術において、フォトリソグラフィ工程やエッチング工程を必要としない、金属酸化物前駆体薄膜パターンの製造方法、金属酸化物薄膜パターンの製造方法、該製造方法により製造される金属酸化物薄膜パターン、及び該パターンを備える電子部品を提供する。
効果 パターニングを、粘着材を用いて塗布膜の剥離により実現できたので、従来の高価な装置を要せず、簡単な工程で実施できる。即ち、従来のリソグラフィー工程やエッチング工程等を行う必要がないので、本発明は、安価で省資源なパターニング法である。
本発明を、ロール・ツー・ロールプロセスに適合する連続パターニング方法に適用することが簡単にできる。例えば、粘着材を表面に具備させたロールを、半乾燥化した塗布膜に接触させ、該ロールを回転させながら除去すればパターニングが完了できるため、待機時間なく連続的な生産ができる。
技術概要
金属酸化物前駆体を有する溶液を基材上に塗布し形成した薄膜を、該薄膜の蒸発成分の一部を除去することによって半乾燥化させ、
半乾燥化した前記薄膜に対し、粘着材を当接した後に引き離すことによって、前記当接した部分のみを除去して金属酸化物前駆体を含む薄膜のパターニングを行うことを特徴とする、金属酸化物前駆体薄膜パターンの製造方法。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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