マイクロ波プラズマ処理装置

開放特許情報番号
L2015001635
開放特許情報登録日
2015/10/19
最新更新日
2018/8/23

基本情報

出願番号 特願2017-502351
出願日 2016/2/22
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 WO2016/136669
公開日 2016/9/1
発明の名称 マイクロ波プラズマ処理装置
技術分野 電気・電子、金属材料
機能 機械・部品の製造
適用製品 マイクロ波プラズマ処理装置
目的 誘電体基板の内部の複雑で長いガス流路をなくして、プラズマの生成と維持が安定したマイクロ波プラズマ処理装置を提供する。
低気圧に限らず中間気圧から大気圧までの高気圧でも低温の広い幅のプラズマジェットを安定して発生させることができるマイクロ波プラズマ処理装置を提供する。
効果 本発明のマイクロ波プラズマ処理装置によると、低気圧に限らず中間気圧及び高気圧においても安定した広い幅のプラズマジェットの発生・維持させることが可能となる。また、本発明のマイクロ波プラズマ処理装置によると、以上の結果、大気圧(又は、低気圧若しくは中間気圧)で広い幅のマイクロ波励起プラズマジェットを用いた大面積表面改質、エッチング、アッシング、クリーニング、酸化・窒化及びCVD(Chemical Vapor Deposition)成膜等の材料プロセシングが可能となる。
技術概要
誘電体基板と、
前記誘電体基板の表面と裏面とのうちのいずれかの面である第1の面の一方の端部から他方の端部に渡って設けられたマイクロストリップ線路と、
前記誘電体基板の前記第1の面と反対側の第2の面の一方の端部から他方の端部に渡って設けられたアース導体と、
前記誘電体基板の一方の端部
に設けられた、前記マイクロストリップ線路と前記アース導体との間にマイクロ波を入力するためのマイクロ波入力部と、
前記マイクロ波入力部から入力されたマイクロ波によりプラズマを発生させるための空間であり、かつ、前記マイクロストリップ線路と前記アース導体との間に設けられた空間であるプラズマ発生部と、
前記アース導体又は前記マイクロストリップ線路に設けられた、前記プラズマ発生部にガスを供給するためのガス入力口と、
前記プラズマ発生部に供給されるガスとマイクロ波により発生するプラズマを、前記誘電体基板の他方の端部から吐出させるためのノズルと、
を備えることを特徴とするマイクロ波プラズマ処理装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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