| 出願番号 |
特願2015-021532 |
| 出願日 |
2015/2/5 |
| 出願人 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 |
特開2016-142726 |
| 公開日 |
2016/8/8 |
| 登録番号 |
特許第6472675号 |
| 特許権者 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 発明の名称 |
二次モアレ縞による顕微鏡走査ゆがみの影響を受けない変形測定方法 |
| 技術分野 |
情報・通信 |
| 機能 |
検査・検出 |
| 適用製品 |
走査型顕微鏡で変形計測する際に顕微鏡のゆがみの影響を受けない変形測定方法 |
| 目的 |
全視野変形計測において顕微鏡の走査ゆがみの影響を除去するために利用できる二次モアレ縞の作成。 |
| 効果 |
二次モアレ縞は顕微鏡の走査ゆがみの影響を受けないので、二次モアレ縞を利用した変形計測は正確である。
大きな視野の変形計測が容易にできる。
ピッチが大きく異なる場合でも、二次モアレ縞を得ることができ、二次モアレ縞から変形を計測することができる。 |
技術概要
 |
試料の変形前後に撮影した２枚の画像を合成し走査モアレ縞を重ねることで走査ゆがみの影響を除去して試料の変形を測定し得る二次モアレ縞(Secondary Moire)を利用する手法を開発した。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
)