| 出願番号 |
特願2015-129045 |
| 出願日 |
2015/6/26 |
| 出願人 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 |
特開2017-017068 |
| 公開日 |
2017/1/19 |
| 登録番号 |
特許第6502193号 |
| 特許権者 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 発明の名称 |
シリコン微結晶複合体膜、熱電材料及びそれらの製造方法 |
| 技術分野 |
電気・電子、金属材料 |
| 機能 |
材料・素材の製造 |
| 適用製品 |
鉄原子とシリコン原子からなるシリコン微結晶複合体膜、該シリコン微結晶複合体膜を用いた熱電材料、及びそれらの製造方法 |
| 目的 |
電気伝導度が優れ、熱伝導性が低いシリコン微結晶複合体膜を提供し、熱電特性に優れた熱電材料を提供する。 |
| 効果 |
結晶配向を制御したことにより、Ｓｉナノ結晶の結晶方位が揃い、キャリア移動度が向上した。単にシリコンナノ結晶とシリサイドナノ結晶を凝集した材料よりも、キャリア移動度を増加することで電気伝導度を向上し、かつ、フォノン散乱による熱伝導率低減効果を同時に得ることで、熱電変換特性が向上できた。 |
技術概要
 |
結晶配向したシリコン微結晶からなる領域、及び鉄シリサイド微結晶からなる領域を備えるシリコン微結晶複合体膜により、熱電特性に優れた材料を実現する。前記鉄シリサイド微結晶は正方晶鉄シリサイドである。また、シリコン微結晶複合体膜には複数のナノボイドが存在することが好ましい。表面にシリコン結晶を有する基板に成膜した、非晶質の鉄とシリコンの合金膜を、熱処理して、シリコン微結晶と鉄シリサイド微結晶に相分離させることにより、シリコン微結晶複合体膜を製造する。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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