白色干渉計装置による表面形状の測定方法

開放特許情報番号
L2015001506
開放特許情報登録日
2015/10/7
最新更新日
2015/10/7

基本情報

出願番号 特願2013-215565
出願日 2013/10/16
出願人 国立大学法人 筑波大学
公開番号 特開2015-078879
公開日 2015/4/23
発明の名称 白色干渉計装置による表面形状の測定方法
技術分野 情報・通信
機能 検査・検出
適用製品 白色干渉計装置による被測定物の表面形状の測定方法
目的 比較的少ない個数のデータに基づいて、被測定物の測定対象表面の高さ、測定対象表面の表面形状を、高速および高精度で測定可能とする。
効果 比較的少ない個数のデータに基づいて、測定箇所の高さを短時間で求めることで、測定対象面の表面形状を測定することが可能となる。
技術概要
白色干渉計装置1で被測定物12を測定するサンプリング間隔を設定し、被測定物12における測定対象表面の特定箇所を、設定したサンプリング間隔で複数回撮像し、該複数回の撮像で得た画像データを、偶数番目の画像データの偶数データセットと、奇数番目の画像データの奇数データセットとに分け、偶数データセットと奇数データセットのそれぞれから被測定物12における測定対象表面である特定箇所の濃度値を取得して変調波形を得て、そのうちコントラストの高い方の変調波形を選択し、選択した変調波形を、フーリエ変換によって補間し、補間された変調波形のピーク位置から被測定物12の特定箇所の高さに係るデータを求める。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2017 INPIT