スパッタ源終端検出機構およびスパッタ装置

開放特許情報番号
L2015001327
開放特許情報登録日
2015/8/27
最新更新日
2015/8/27

基本情報

出願番号 特願2011-116907
出願日 2011/5/25
出願人 日本放送協会
公開番号 特開2012-246509
公開日 2012/12/13
登録番号 特許第5719235号
特許権者 日本放送協会
発明の名称 スパッタ源終端検出機構およびスパッタ装置
技術分野 金属材料
機能 材料・素材の製造
適用製品 スパッタ源終端検出機構、スパッタ装置
目的 スパッタ源をスパッタ装置に取り付けた状態で、孔の開く直前の使用可能な限界(終端)まで使用することが可能なスパッタ源終端検出機構、およびこれを取り付けたスパッタ装置を提供する。
効果 簡素な構成として既存のスパッタ装置に容易に搭載することができる。また、既存のスパッタ装置を容易にかつ安価に転用して得られる。そして、スパッタ源を孔が開く直前まで安定して使用できるので、スパッタ源自体のコストが低減され、またスパッタ源の交換に要する作業頻度が減少するため、生産性が向上する。
技術概要
スパッタ装置の処理室に設置されているスパッタ源の裏面に光を照射する投光手段を備え、
前記投光手段は、前記スパッタ源が載置されたスパッタ源載置部材の表面に形成された凹部に収納されて、前記スパッタ装置により消費される前記スパッタ源の部位における裏側に配置され、
前記スパッタ源載置部材が前記スパッタ装置のスパッタ源ホルダまたは前記スパッタ源のバッキングプレートのいずれかであることを特徴とするスパッタ源終端検出機構。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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