回転工具と被加工物間の間隙長さ測定方法及びシステム

開放特許情報番号
L2015001313
開放特許情報登録日
2015/8/19
最新更新日
2015/8/19

基本情報

出願番号 特願2010-170670
出願日 2010/7/29
出願人 国立大学法人九州工業大学
公開番号 特開2012-032222
公開日 2012/2/16
登録番号 特許第5614633号
特許権者 国立大学法人九州工業大学
発明の名称 回転工具と被加工物間の間隙長さ測定方法及びシステム
技術分野 情報・通信、機械・加工
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 回転工具と被加工物間の間隙長さ測定方法及びシステム
目的 回転中の工具と被加工物間の間隙を直接測定する手法を確立すること。
効果 超精密マシニングセンターにおいて、毎分十数万の高速回転体である工具先端の位置と被加工物間の間隙長さをサブマイクロメートルの精度で測定することが可能になる。本発明は、光回折による間隙測定法における基準ナイフエッジを用いず、被加工物そのもののエッジを基準エッジとして利用した測定を行うことにより、直接工具先端と被加工物間の間隙を高精度に測定することができた。また、レーザ照射をパルス化したため、回転中の工具先端の角度位置を特定して測定することが可能となった。
技術概要
回転工具とそれに対向配置した被加工物との間の間隙を超える幅を有するパルス化レーザ光を発生して、発生レーザ光の光軸を被加工平面に対して傾斜させて間隙に照射する。パルス化レーザ光は、回転工具の1回転又は整数回転当たり1パルスの発振パルス周期を有し、該発振パルスオン期間の間に回転工具の同一角度範囲に照射する。間隙に照射されて該間隙により遮蔽されずに回折した光を受光センサーにより検出して、間隙長さを測定する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【有】   
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