垂直配向したカーボンナノチューブの製造方法

基本情報

出願番号	特願2013-158918
出願日	2013/7/31
出願人	国立大学法人静岡大学
公開番号	特開2013-216578
公開日	2013/10/24
登録番号	特許第5768232号
特許権者	国立大学法人静岡大学
発明の名称	垂直配向したカーボンナノチューブの製造方法
技術分野	化学・薬品、無機材料
機能	材料・素材の製造、機械・部品の製造
適用製品	カーボンナノチューブの製造方法及び製造装置
目的	簡単に垂直配向したカーボンナノチューブを製造することができるカーボンナノチューブの製造方法及び製造装置を得る。
効果	本発明によれば、簡単に垂直配向したカーボンナノチューブを製造することができる。
技術概要	少なくとも一部の表面が酸化ケイ素である平板状の基板と触媒とが載置された管内を排気するステップと、前記管内を前記触媒が昇華する所定温度に調整するステップと、前記所定温度に調整されて前記触媒が昇華した状態にある前記管内に炭化水素のガスを供給し、化学気相成長法により前記基板上にカーボンナノチューブを垂直配向させるステップと、を含むカーボンナノチューブの製造方法。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

登録者名称	国立大学法人静岡大学