表面検査装置および表面検査方法、ならびにそのためのプログラムおよびそのプログラムの記録媒体

開放特許情報番号
L2015000920
開放特許情報登録日
2015/4/24
最新更新日
2016/9/28

基本情報

出願番号 特願2015-013402
出願日 2015/1/27
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2016-138790
公開日 2016/8/4
発明の名称 表面検査装置および表面検査方法、ならびにそのためのプログラムおよびそのプログラムの記録媒体
技術分野 情報・通信
機能 検査・検出、制御・ソフトウェア、機械・部品の製造
適用製品 対象となる物体の表面の性状を検査する表面検査装置および表面検査方法
目的 物体表面における光沢ムラや、色ムラ等の状態を精度よく検出する装置および方法を提供する。
効果 偏光により検出される欠陥等や、色により検出される欠陥等をそれぞれ検出でき、物体表面における凹凸の分布の偏りや光沢ムラ、色ムラの状態を精度良く検出することができるという効果を奏する。
技術概要
物体表面の散乱光を、散乱光検出手段20によりP偏光成分とS偏光成分とに分離して検出し、また、RGBに関する色成分画像を検出し、画像検出手段30により散乱光検出画像からP偏光成分画像とS偏光成分画像の抽出、ならびにR画像やG画像の色成分画像の抽出を行い、画像解析手段60により偏光成分および色成分それぞれの検出画像から算出される偏光成分強度比相関パラメータおよび色強度比相関パラメータに基づき物体表面の性状を判断する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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