| 出願番号 |
特願2011-514321 |
| 出願日 |
2010/5/13 |
| 出願人 |
大陽日酸株式会社 |
| 公開番号 |
WO2010/134301 |
| 公開日 |
2010/11/25 |
| 登録番号 |
特許第5583121号 |
| 特許権者 |
大陽日酸株式会社 |
| 発明の名称 |
精製液化ガスの供給方法 |
| 技術分野 |
無機材料 |
| 機能 |
材料・素材の製造、洗浄・除去 |
| 適用製品 |
高純度液化ガス供給装置 |
| 目的 |
高純度液化ガスの製造には、一般的に精留装置が用いられるが、大型で製造コストも嵩む上、操作が複雑である。さらに低温でのプロセスになるため、冷却するためのエネルギーコストも大きい。一方、半導体製造メーカのユースポイントにおいて、工業用無水アンモニアを精留する場合でも、精留における製造コストおよびエネルギーコストの増大、操作の煩雑さが問題点となる。本発明は、簡便な装置を使用して、簡便な分析手段と精製操作により原料液化ガスを精製して、精製された液化ガスを供給先に供給する方法を提供する。 |
| 効果 |
簡便な装置を使用して、簡便な分析手段と精製操作により不純物を多く含む（純度の低い）原料液化ガス（Ｒ）を精製して、品質確認された精製液化ガス（Ｐ）を供給先に供給することが可能になる。 |
技術概要
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原料液化ガスが貯蔵されている容器内の気相中の易揮発性不純物成分濃度を測定して、濃度と気液平衡定数から液相中の不純物成分濃度を推定すると共に、原料液化ガスを精製するのに必要な容器気相部からのガスの放出量を想定し、次にガスの放出量を放出する液化ガスの精製操作後、容器内気相部の不純物成分濃度の測定から液相中の不純物成分濃度を推定して、精製液化ガスの液相部の品質確認を行うことにより、高純度に精製された液化ガスを供給先に供給する。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【可】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
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