固体原料供給方法及び装置

開放特許情報番号
L2015000835
開放特許情報登録日
2015/4/15
最新更新日
2015/4/15

基本情報

出願番号 特願2007-305599
出願日 2007/11/27
出願人 大陽日酸株式会社
公開番号 特開2009-125703
公開日 2009/6/11
登録番号 特許第5242140号
特許権者 大陽日酸株式会社
発明の名称 固体原料供給方法及び装置
技術分野 無機材料
機能 検査・検出
適用製品 フッ素ガス濃度計
目的 電子デバイス製造装置等から排出される排ガスなどの被測定ガス中のフッ素濃度を測定するに際して、測定毎に装置の校正を行うなどの手間が軽減され、妨害成分の影響を簡単に排除でき、正確な濃度を測定できるガス分析装置を提供する。
効果 フッ素ガスは、紫外線分光光度計によりその吸光度を測定することで、その濃度を正確に求めることができる。また、紫外線分光光度計では予めフッ素ガスについての検量線を作製しておけば、測定の都度校正をする必要はない。また、酸素とそれ以外の妨害成分が含まれている被測定ガス中のフッ素濃度を、正確に知ることができる。
技術概要
 
固体原料の粉末を、横断面が一定断面積で、上面が水平面となる形状で、粒子間に隙間が無く、均一緻密な構造に成形し、成形した固体原料を該固体原料の外側面形状と同一の内側面形状を有し、上部が開口した蒸発容器内に充填するとともに、蒸発容器を、固体原料から蒸発した原料ガスを搬送ガスに混合させる混合容器内に封入し、混合容器内の雰囲気温度をあらかじめ設定した温度に保った状態で、混合容器内にあらかじめ設定した圧力及び流量に調整した搬送ガスを搬送ガス導入経路から導入し、蒸発した原料ガスを搬送ガスに混合して同伴させた同伴ガスを混合容器内から同伴ガス導出経路に導出して供給先に供給する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 大陽日酸株式会社

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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