ホウ素系ガス中の金属不純物の除去方法

開放特許情報番号
L2015000831
開放特許情報登録日
2015/4/14
最新更新日
2015/4/14

基本情報

出願番号 特願2006-215729
出願日 2006/8/8
出願人 大陽日酸株式会社
公開番号 特開2008-037712
公開日 2008/2/21
登録番号 特許第5148851号
特許権者 大陽日酸株式会社
発明の名称 ホウ素系ガス中の金属不純物の除去方法
技術分野 無機材料
機能 洗浄・除去、材料・素材の製造
適用製品 焼結フィルター
目的 通常の半導体プロセスガスの場合、合成樹脂製あるいはセラミック製のフィルターでガス中の金属不純物を除去できるが、B2H6,BF3,BCl3等のホウ素系ガスは、合成樹脂製あるいはセラミック製のフィルターでは金属不純物を十分に除去できない。言い換えれば、ホウ素系ガス中に存在する金属不純物は、合成樹脂製あるいはセラミック製のフィルターに捕捉されず、通過している。本発明は、ホウ素系ガス中に存在する金属不純物を確実に除去できる除去方法を提供する。
効果 ステンレス鋼製焼結フィルターあるいはステンレス粉末でホウ素系ガス中に存在する金属不純物を捕捉することができるので、金属に汚染されていない超高純度のホウ素系ガスを得ることができる。また、一般的で安価なステンレス鋼製焼結フィルターやステンレス粉末が使用可能であり、コストダウンを図ることができる。
技術概要
 
B2H6,BF3,BCl3等のホウ素系ガスを、ステンレス鋼製焼結フィルターで濾過処理することにより、あるいは、ステンレス粉末に接触させることにより、ホウ素系ガス中に存在する鉄,銅,アルミニウム,ニッケル,マグネシウム,クロム,マンガン,亜鉛等の金属不純物を除去して超高純度のホウ素系ガスを得る。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 大陽日酸株式会社

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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