フッ素ガス測定方法及び装置

開放特許情報番号
L2015000829
開放特許情報登録日
2015/4/14
最新更新日
2015/4/14

基本情報

出願番号 特願2007-317117
出願日 2007/12/7
出願人 大陽日酸株式会社
公開番号 特開2009-139276
公開日 2009/6/25
登録番号 特許第5112032号
特許権者 大陽日酸株式会社
発明の名称 フッ素ガス測定方法及び装置
技術分野 無機材料
機能 検査・検出
適用製品 フッ素ガス濃度計
目的 発光式フッ素ガス濃度計で、フッ素ガスを全く含まない窒素ガスから、フッ素ガスを200ppm含む窒素ガスに切り換えて測定した結果、切り換えた直後は、発光強度が瞬時に跳ね上がり、その後、緩やかに減少した。また、頻繁に校正を行う必要があり、さらに、多点校正を実施する必要があった。本発明は、フッ素ガス濃度計の応答性や安定性を向上させるとともに、フッ素ガス濃度の変化にも迅速且つ正確に対応することができ、標準フッ素ガスを用いることなく測定部の前処理を簡単且つ確実に行うことができる測定方法を提供する。
効果 発光強度の低下を効率よく抑制でき、試料ガス中のフッ素ガス濃度を正確に再現性よく測定することが可能となる。また、長時間のフッ化処理を行う必要もなく、校正データの取得と同時にフッ素ガスと接する部分のフッ化処理も行える。さらに、事前に校正をする必要はあるものの、試料ガス測定の直前に校正する必要がないので、測定現場にフッ素標準ガスなどを持ち込む必要もない。加えて、標準フッ素ガスなどの供給手段や、これらと試料ガスとを切り換える手段等が必要ないため、測定装置はコンパクトにとなる。
技術概要
 
発光式フッ素ガス濃度計を用いて試料ガス中のフッ素ガス濃度を測定するフッ素ガス測定方法において、フッ素ガス濃度計に不活性ガスを連続的に導入するとともに、不活性ガス中に試料ガスを断続的に導入して試料ガス中のフッ素ガス濃度を測定する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 大陽日酸株式会社

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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