一酸化炭素の精製方法

開放特許情報番号
L2015000827
開放特許情報登録日
2015/4/14
最新更新日
2015/4/14

基本情報

出願番号 特願2001-211114
出願日 2001/7/11
出願人 大陽日酸株式会社
公開番号 特開2003-026415
公開日 2003/1/29
登録番号 特許第5108184号
特許権者 大陽日酸株式会社
発明の名称 一酸化炭素の精製方法
技術分野 無機材料
機能 洗浄・除去、材料・素材の製造
適用製品 ガス精製装置
目的 従来の精製器は、水分や炭酸ガスを除去することを主目的としているため、この精製器に金属カルボニル化合物が侵入すると、精製器の寿命を縮めたり、水分や炭酸ガスの除去能力が衰えたりした。このため、金属カルボニル化合物を含む一酸化炭素を精製して高純度な一酸化炭素を半導体製造装置に安定的に供給するための精製器としては、十分でなかった。本発明は、金属カルボニル化合物、特に、蒸気圧が高くて除去し難いニッケルカルボニルを含む一酸化炭素の精製を効率よくできる一酸化炭素の精製方法を提供する。
効果 本発明の一酸化炭素の精製方法によれば、従来の精製器では十分に除去できなかったニッケルカルボニルを一酸化炭素中から効果的に除去することができる。
技術概要
 
加熱状態で不活性ガスを通気させる活性化処理を行った後、0度以下に冷却した合成ゼオライトを精製容器(充填筒)に充填し、この精製容器内に一酸化炭素を流通させることにより、一酸化炭素ガス中に存在する金属カルボニル化合物を合成ゼオライトに吸着させて一酸化炭素中から除去する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 大陽日酸株式会社

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2017 INPIT