フッ素ガス濃度の測定方法

開放特許情報番号
L2015000818
開放特許情報登録日
2015/4/14
最新更新日
2015/4/14

基本情報

出願番号 特願2006-034915
出願日 2006/2/13
出願人 大陽日酸株式会社
公開番号 特開2007-212379
公開日 2007/8/23
登録番号 特許第4767033号
特許権者 大陽日酸株式会社
発明の名称 フッ素ガス濃度の測定方法
技術分野 無機材料
機能 検査・検出
適用製品 フッ素ガス濃度計
目的 フッ素ガス濃度の測定が要求される各種の試料ガスは、@分析計、濃度計や関連設備の負荷軽減のために試料を希釈することが望ましい試料、A試料そのものが元来フッ素ガス濃度を測定したいガスを希釈した試料、およびBガス流量の制限から試料ガスを希釈しなければならない試料、であるが、従来のフッ素ガス濃度計では感度(検出下限)が不充分であり、濃度計の感度の向上が求められた。本発明は、フッ素ガス濃度計の感度を向上させ、各種試料ガスに対して高感度でフッ素ガスの濃度測定が可能な測定方法を提供する。
効果 フッ素ガス濃度計の感度を大幅に向上させることができ、試料ガス中の極微量のフッ素ガス濃度を正確に測定することが可能となる。
技術概要
 
本発明のフッ素ガス濃度の測定方法は、フッ素ガスとの接触により選択的発光反応を生じる反応体を備え、反応体とフッ素ガスとの選択的発光反応により生じた光の強度を検出することによってフッ素ガスの濃度を測定するフッ素ガス濃度計を使用したフッ素ガス濃度の測定方法であって、反応体にドライガスを接触させ、反応体の含有水分量を、未使用時の状態から低減させた状態でフッ素ガス濃度の測定を行うことを特徴とするものであり、特に、反応体の含有水分量を、未使用時の状態に対して20%以下に低減する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 大陽日酸株式会社

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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