フッ素ガス濃度測定方法

開放特許情報番号
L2015000817
開放特許情報登録日
2015/4/14
最新更新日
2018/4/3

基本情報

出願番号 特願2005-296148
出願日 2005/10/11
出願人 大陽日酸株式会社
公開番号 特開2007-107904
公開日 2007/4/26
登録番号 特許第4749823号
特許権者 大陽日酸株式会社
発明の名称 フッ素ガス濃度測定方法
技術分野 化学・薬品
機能 検査・検出
適用製品 フッ素ガス濃度計
目的 フッ素ガス濃度計の応答性や安定性を向上させるとともに、フッ素ガス濃度の変化にも迅速に対応することができるフッ素ガス濃度測定方法を提供する。
効果 @試料ガスが流れる系内をあらかじめフッ化させることで、試料ガス中のフッ素ガスと経路等の系内の内面との反応を抑制でき、試料ガス中のフッ素ガス濃度を保った状態で測定できる。これにより、試料ガス導入時の測定部(11)の測定値(発光強度)が短時間で安定化し、正確なフッ素ガス濃度を迅速に得られる。
A流量調整した標準フッ素ガスと不活性ガスをガス混合部(41)で混合することで、標準フッ素ガス濃度の範囲内であればフッ素ガスの濃度を調整することができ、測定部(11)の多点校正を簡単かつ確実に行える。
技術概要
@測定ガス切換手段(61)を混合ガス経路(42)側に切り換えた後、Aガス混合部(41)で混合したフッ素含有混合ガス中のフッ素ガス濃度が、試料ガス中で予測される最大のフッ素ガス濃度と同等になるように、両圧力調整手段(22,32)及び両流量調整手段(23,33)を調整し、B測定ガス切換手段(61)より下流側をフッ素ガスによってフッ素不働態化する前処理を行った後、Cフッ素含有混合ガス中のフッ素ガス濃度が、試料ガス中で予測される最小のフッ素ガス濃度と同等になるように、両圧力調整手段(22,32)及び両流量調整手段(23,33)を調整し、D測定部(11)の測定値が安定したら、フッ素含有混合ガス中のフッ素ガス濃度が、試料ガス中で予測される最大のフッ素ガス濃度以下で、かつ、最小のフッ素ガス濃度以上となる範囲に両流量調整手段(23,33)を調整し、フッ素ガス濃度を調整したフッ素含有混合ガスを測定部(11)に導入して校正に使用するデータを取得し、E測定ガス切換手段(61)を試料ガス導入経路側(51)に切り換え、F試料ガスを測定部(11)に導入して試料ガス中のフッ素ガス濃度を測定する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 大陽日酸株式会社

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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