フッ素ガス濃度測定方法

開放特許情報番号
L2015000817
開放特許情報登録日
2015/4/14
最新更新日
2015/5/20

基本情報

出願番号 特願2005-296148
出願日 2005/10/11
出願人 大陽日酸株式会社
公開番号 特開2007-107904
公開日 2007/4/26
登録番号 特許第4749823号
特許権者 大陽日酸株式会社
発明の名称 フッ素ガス濃度測定方法
技術分野 無機材料
機能 検査・検出
適用製品 フッ素ガス濃度計
目的 フッ素ガス濃度計として、発光反応がガス中のフッ素ガスの濃度に依存することを利用し、発生した光を増幅して検出するものが使用されている。しかしながら、濃度計の発光強度は、瞬時に一定となることが望ましいが、実際の発光強度は、ガスの切り換えから20分でも減少傾向であった。また、頻繁な校正が必要であった。さらには、多点校正を実施する必要があった。本発明は、フッ素ガス濃度計の応答性や安定性を向上させるとともに、フッ素ガス濃度の変化にも迅速に対応することができるフッ素ガス濃度測定方法を提供する。
効果 配管内面をあらかじめフッ化しておくことができ、また、検量線のチェックや作成を容易に行うことができるようになるので、フッ素ガス濃度を正確に測定することが可能となる。
技術概要
 
測定ガス導入経路から導入された試料ガスのフッ素ガス濃度を測定する測定部と、標準フッ素ガスを供給する標準フッ素ガス供給部と、フッ素ガスを含まない不活性ガスを供給する不活性ガス供給部と、標準フッ素ガス及び不活性ガスを圧力調整手段、及び流量調整手段を介して導出し、両ガスを混合するガス混合部と、測定ガス導入経路を介して測定部に導入するガスを、ガス混合部で混合したフッ素含有混合ガスと試料ガス導入経路から導入される試料ガスとのいずれかに切り換える測定ガス切換手段とを備えている。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 大陽日酸株式会社

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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