| 出願番号 |
特願2005-517441 |
| 出願日 |
2005/1/25 |
| 出願人 |
大陽日酸株式会社 |
| 公開番号 |
WO2005/072853 |
| 公開日 |
2005/8/11 |
| 登録番号 |
特許第4711831号 |
| 特許権者 |
大陽日酸株式会社 |
| 発明の名称 |
排ガス処理剤および排ガス処理方法ならびに排ガス処理装置 |
| 技術分野 |
無機材料 |
| 機能 |
洗浄・除去、環境・リサイクル対策 |
| 適用製品 |
排ガス処理装置、多孔質物質 |
| 目的 |
半導体製造装置などからなる排出される排ガス中に含まれる有害ガス成分を除去する排ガス処理剤として、処理剤単位量当りの処理量が多く、少量の処理剤で多量の排ガス処理ができ、しかも処理後の処理剤を廃棄処分する際にも、特別の廃棄処理を施す必要のない排ガス処理剤を提供する。 |
| 効果 |
本発明の排ガス処理剤は、多孔質であることから、その微細孔内部でも化学反応により有害ガス成分が反応して除去されるため、少量の処理剤で多量の排ガスを処理できる。また、化学反応を利用するので、処理後の処理剤は安定で無害なカルシウム化合物になり、これを廃棄処分する際に改めて特別の処理を行う必要がなく、逆に有用な化学原料として再利用できる。さらに、除去反応が発熱反応であるので、処理時に外部から加熱する必要がなく、コストが安価となる。また、処理装置の構造が簡単で設備費用も安価となる。 |
技術概要
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5〜20μmの粒径を有し、且つ連続する柱状構造を有する1次粒子から2次粒子が構成されるとともに、200〜500μmの粒子径を有する前記2次粒子から構成される粒状の排ガス処理剤であって、1m2/g以上の比表面積を有するとともに10〜50体積％の空間率の多孔質構造を備えており、その表面の少なくとも一部を占める水酸化カルシウム、および、その残部を占める酸化カルシウムからなることを特徴とする排ガス処理剤である。この排ガス処理剤において、水酸化カルシウムは前記排ガス処理剤の20〜70重量％を占めることが好ましい。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【可】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
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