ガス中の不純物分析方法及び装置

開放特許情報番号
L2015000811
開放特許情報登録日
2015/4/14
最新更新日
2015/4/14

基本情報

出願番号 特願2001-100284
出願日 2001/3/30
出願人 大陽日酸株式会社
公開番号 特開2002-296186
公開日 2002/10/9
登録番号 特許第4580119号
特許権者 大陽日酸株式会社
発明の名称 ガス中の不純物分析方法及び装置
技術分野 無機材料
機能 検査・検出
適用製品 微量ガス濃度計
目的 クリプトンやキセノン、酸素中の不純物窒素の濃度を連続的に測定することが可能なガス中の不純物分析方法及び装置を提供する。
効果 従来は、ガスクロマトグラフで分離するなどの前処理操作を必要としていたクリプトンやキセノン、酸素中の窒素濃度を、連続的にリアルタイムで分析することが可能となる。また、分析装置も、試料ガスに混合する不活性ガスの経路を追加するだけでよいので、装置コストの上昇もほとんどない。さらに、本発明の分析装置は、様々な試料ガス中の各種不純物の分析にも対応することができる。
技術概要
 
試料ガス中に含まれる不純物よりもイオン化ポテンシャルの高い不活性ガスと試料ガスとを混合して放電管内に導入し、放電により生じた光を集光し、不純物に特有の発光波長を抽出して検出器に導入し、検出された光の強度に応じて不純物濃度を連続的に測定する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 大陽日酸株式会社

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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