濃縮分析装置及び方法

開放特許情報番号
L2015000810
開放特許情報登録日
2015/4/14
最新更新日
2015/4/14

基本情報

出願番号 特願2003-155219
出願日 2003/5/30
出願人 大陽日酸株式会社
公開番号 特開2004-354332
公開日 2004/12/16
登録番号 特許第4118745号
特許権者 大陽日酸株式会社
発明の名称 濃縮分析装置及び方法
技術分野 無機材料
機能 検査・検出
適用製品 微量ガス濃度計
目的 ガス中の微量成分を高感度に分析する方法として、試料ガスを主成分と被分析成分とに分離し、分離した被分析成分を濃縮する操作を複数回繰り返した後、被分析成分を脱着させ、キャリヤーガスに同伴させてメインカラムに導入して単成分に分離して定量する方法がある。この方法は、主成分と不純物とが同じような挙動を示す場合は両者の分離が困難であり、また、極微量の場合は分析に長時間を必要とする。本発明は、モノシラン中のアルシン分析のように、主成分と不純物成分との分離が困難な分析を高感度で測定できる方法を提供する。
効果 分析対象となる不純物成分と主成分とをカラムで分離することが困難な不純物成分も、高感度にかつ安定して分析することができる。特に、モノシラン中の微量不純物であるアルシンを分析する場合に最適である。
技術概要
 
@冷却した第1濃縮管に試料ガスを流通させて不純物成分を一次濃縮する工程と、A前工程で濃縮した一次濃縮ガスを第2濃縮管に流通させて不純物成分を二次濃縮する工程と、B前工程で濃縮した二次濃縮ガスをプレカラムに流通させて二次濃縮ガス中の不純物成分を予備分離する工程と、C前工程で予備分離した予備分離ガスをメインカラムに流通させて不純物成分を単成分に分離する工程と、D前工程で単成分に分離した不純物成分を分析器に導入して分析する分析工程と、を行う。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 大陽日酸株式会社

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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