洗浄材製造方法及びその製造装置並びにこれを使用する洗浄システム

開放特許情報番号
L2015000807
開放特許情報登録日
2015/4/14
最新更新日
2015/4/14

基本情報

出願番号 特願2002-350501
出願日 2002/12/2
出願人 大陽日酸株式会社
公開番号 特開2004-181334
公開日 2004/7/2
登録番号 特許第3996499号
特許権者 大陽日酸株式会社
発明の名称 洗浄材製造方法及びその製造装置並びにこれを使用する洗浄システム
技術分野 機械・加工
機能 洗浄・除去、表面処理、接着・剥離
適用製品 アイス・スクラバー
目的 微細な氷粒子をガスにより基板に噴射し衝突させて、基板を洗浄するアイス・スクラバーが行われている。しかし、硬質の氷粒子が基板に高速で衝突するため、基板が損傷した。また、衝突後の氷粒子や一度除去されたパーティクルが基板周辺に舞い上がりによる基板の再汚染を防ぐ方法に、氷粒子と共に基板に純水等をかけるリンスという方法があるが、リンス水に氷粒子が溶融して冷熱の有効利用ができない問題があった。そこで、基板等の被洗浄部材を良好、かつ効果的に洗浄できる洗浄材を製造する洗浄方法を提供する。
効果 本発明の洗浄材製造方法、装置によれば、ブラシ・スクラバーやアイス・スクラバーによる場合のような問題(例えば、基板の副次的コンタミネーションや素子の破壊を招く等)を生じることなく、基板等の被洗浄面を良好且つ効果的に洗浄しうる洗浄材を効率良く且つ容易に製造することができる。また、本発明の洗浄システムによれば、かかる基板等の洗浄に要するランニングコストを低減させることができ、配管系が閉塞する等の問題を生じることなく、連続運転を容易に行なうことができる。
技術概要
 
基板等に噴射、衝突させる洗浄材は、氷粒子を含む固液共存のシャーベット状である。純水とこれより凝固点の低い有機化合物液との混合液を過冷却状態に冷却させ、その冷却された混合液である過冷却液に外力の付与により氷結晶を発生させることで製造される。過冷却液への外力付与は、例えば、過冷却液の流動路に急拡大部を設けておくことによって行われる。過冷却液が急拡大部に流入することによって渦流が発生し、この渦流によって生じる攪拌力により過冷却液の過冷却状態が解消されて、過冷却液中の水分が凝固して氷粒子となる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 大陽日酸株式会社

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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