ガス中の水分濃度測定方法及び装置

開放特許情報番号
L2015000806
開放特許情報登録日
2015/4/14
最新更新日
2015/4/14

基本情報

出願番号 特願平09-240867
出願日 1997/9/5
出願人 大陽日酸株式会社
公開番号 特開平11-083806
公開日 1999/3/26
登録番号 特許第3958412号
特許権者 大陽日酸株式会社
発明の名称 ガス中の水分濃度測定方法
技術分野 その他
機能 検査・検出
適用製品 水分濃度計
目的 近年、金属面への水分の吸脱着特性を利用して水分を測定する方法が試みられている。上述の方法では、サンプリング配管の内周面に吸着している水分を完全に取り除くため、400℃以上に加熱が必要であった。また、高温に長時間保持する必要もあるため、エネルギー消費量が大であるとともに、長時間を必要とした。そこで本発明は、水分測定時間の短縮と装置の小型化とが図れ、被測定ガスの使用量も低減しながら高精度で極微量の水分量を測定することができるガス中の水分濃度測定方法を提供する。
効果 配管内周面に吸着する2分子層以降の水分量を定量するようにしたので、サンプリング配管の加熱温度を低くでき、これによって、切換弁(例えば六方弁)等に汎用のものを使用できる。また、比較的細い配管を使用でき、配管を螺旋状に形成することが可能となるので、装置の低コスト化、小型化等が図れる。さらに、質量分析計で水分量を定量することにより、大気圧イオン化質量分析計に比べて少量のガス量で水分測定が可能となり、被測定ガスやキャリアガスの消費量も低減できる。
技術概要
 
本発明の方法は、配管内周面への水分の吸脱着特性を利用して被測定ガス中の水分濃度を測定する方法であって、@水分の吸脱着を行わせるサンプリング配管を100〜170℃の温度で加熱して配管内周面に吸着している2分子層以降の水分を脱着除去する工程と、Aサンプリング配管を所定温度に冷却する工程と、Bサンプリング配管内に被測定ガスを導入してガス中の水分をサンプリング配管の内周面に吸着させる工程と、Cサンプリング配管に実質的に水分を含まないキャリアガスを導入して配管内から被測定ガスを排出する工程と、Dサンプリング配管内に前記キャリアガスを導入しながらサンプリング配管を100〜170℃の温度に加熱して配管内周面に吸着している2分子層以降の水分を脱着させるとともに、脱着した水分を前記キャリアガスに同伴させて質量分析計に導入することにより水分量を測定する工程と、を含む。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 大陽日酸株式会社

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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