ガス成分濃度測定方法及び装置

開放特許情報番号
L2015000796
開放特許情報登録日
2015/4/14
最新更新日
2015/4/14

基本情報

出願番号 特願2001-270335
出願日 2001/9/6
出願人 大陽日酸株式会社
公開番号 特開2003-075318
公開日 2003/3/12
登録番号 特許第3655569号
特許権者 大陽日酸株式会社
発明の名称 ガス成分濃度測定方法及び装置
技術分野 無機材料
機能 検査・検出
適用製品 成分ガス濃度計、希ガス回収装置
目的 ガス中の高濃度成分の分析法として、ガスクロマトグラフ(GC)や非分散赤外分光法等がある。しかしながら、GCは、濃度をリアルタイムかつ連続的に監視することができず、また、インラインモニタリングには使用できなかった。一方、非分散赤外分光法は、赤外領域の光を透過する石英等の窓をセルに設けるため、大掛かりな設備を必要とした。本発明は、リアルタイムかつ連続測定が可能で、インラインモニタリングにも適応でき、高圧ガスにも適用可能で、様々な成分の測定に対応が可能な測定方法及び装置を提供する。
効果 成分濃度を連続的かつ試料ガスを他成分と混合することなく正確に測定することができる。さらに、純ガス又は混合ガスへの未知の不純物の混入をリアルタイムで検知することや、分離カラムと組み合わせることにより、その定性も行うことが可能である。
技術概要
 
流体流路中に一定の径の小通孔を有する測定用配管に試料流体を流し、そのときの小通孔の前後の圧力差と、小通孔の下流側の流量を測定することにより、試料流体の成分濃度を測定する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 大陽日酸株式会社

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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